超聲波掃描顯微鏡(SAT)

超音波顯微鏡(SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的簡稱，又稱為SAM (Scanning Acoustic Microscope)。此檢測為應用超音波於不同密度材料之反射速率及能量不同的特性來進行分析。

• 檢測模式:

• A-scan (超音波訊號)

• B-scan (二維反射式剖面檢測 / 影像)

• C-scan (二維反射式平面檢測 / 影像)

• Through-scan (穿透式檢測 / 影像)

• 應用 / 特色: 一般用於package 內部介面是否有脫層(Delaminaiton) 或裂縫(Crack)，SAT原理上可以檢測到0.13 μm的微小gap。

• IC package level structure analysis

• IC package quality on PCBA level

• PCB/IC substrate structure analysis

• Wafer level structure analysis

• WLCSP structure analysis

• CMOS structure analysis

不同的樣品適用的檢測探頭也不同，DEKRA iST擁有目前全臺灣最完整的探頭組合，從低頻15 Mhz至高頻110 Mhz及更高階的UHF超高頻探頭。(請見下圖)

 探頭應用 : 

 15 Mhz – DIP , PLCC , TO, QFP

 35 Mhz – BGA , SOP8 , QFP , SOT223 , TO252 

 50 Mhz – QFN , TQFP, DFN

 75 Mhz – TSSOP , Flash

 110 Mhz –Wafer , Flip chip

 UHF – CMOS , WLCSP

*以上探頭應用皆為參考，還需依實際樣品狀況選擇合適的探頭。

▲BGA封裝 Substrate脫層

▲TSOP 封裝 Die & Paddle & Lead 脫層

▲其它SAT檢測分析樣品